軟X-RAY光譜儀248/310G 型
簡 述：
248/310G 型一米焦距掠入射光譜儀. 這一儀器設(shè)計(jì)合理, 工作于軟X 射線譜段, 使用簡單. 單色儀通過出口狹縫在羅蘭圓上移動來掃描波長. 羅蘭圓的直徑等于光柵的曲率半徑.
品 牌：
美國 Mcpherson
產(chǎn)品型號：
- 248/310G型
軟X光和極端遠(yuǎn)紫外譜段 248/310G型掠入射單色儀
該設(shè)備配備單個光柵提供覆蓋1 至 310nm 光譜范圍；采用非真空紫外發(fā)射線設(shè)備的校準(zhǔn)及調(diào)準(zhǔn)可以在大氣壓下完成。符合運(yùn)動學(xué)原理安裝的光柵保證了在調(diào)準(zhǔn)后的用于試驗(yàn)的光柵可以復(fù)位。
光柵室材質(zhì)為不銹鋼，配備了一個標(biāo)準(zhǔn)的4.5 英寸conflat™全金屬密封的泵接口（a standard 4.5” conflat™all metal sealed pump port）。該光柵室提供了符合運(yùn)動學(xué)光柵固定架、真空中可調(diào)焦距式測微計(jì)、濾光片及孔徑片、入射狹縫及出射折迭暗箱固定架。
248/310G 型可以用于單通道掃描, 多通道光度計(jì)( 使用多道平面增強(qiáng)器或CCD), 或者倒過來使用作為Extreme UV and Soft X-ray 的多種單色光源. 不管哪種方式, 都帶o-ring 密封的真空系統(tǒng)或全金屬密封的超高真空系統(tǒng).
當(dāng)248/310G 用作掃描單色器時, 可以得到*佳分辨率和*寬的波長覆蓋范圍. 出口狹縫通過密封焊接的波紋管裝置連接到光柵室, 可以在光柵中心50mm 范圍內(nèi)掃描. 采用88 度入射角, 掃描精度可以達(dá)到0.98nm。
使用 789A-3 型掃描系統(tǒng) (36,000 steps /rev.) 步進(jìn)距離為0.0004". 取決于光柵刻線密度和入射角度, 這一距離同波長直接關(guān)聯(lián). 雙邊可調(diào)入射狹縫 (5-3000 um) 固定在光柵室上. 羅蘭圓上移動的狹縫可由精確的千分尺調(diào)節(jié). 狹縫裝置上帶有安裝真空計(jì), 進(jìn)氣閥, 粗抽閥的接口. 波長小于30nm 時為提高性能, 應(yīng)使用金屬過濾薄片以濾出散射和低能光. 用于*高能量/ *短波長時, 應(yīng)使用VYNS 型濾光片。
左邊照片為McPherson 248/310G 使用無窗背后照明無鍍膜CCD 探測器, 可以直接測量 soft x-ray 和 EUV 光譜. CCD 垂直于出射光束. CCD 中心是最好的焦點(diǎn). CCD 可以在Rowland circle 上掃描使得任意波長時光束都打在探測器的中心.
左圖為采集soft x-ray and extreme UV 譜段的數(shù)據(jù), 可以在Rowland circle 上使用微通道板 (microchannel plate). 通過這種方式, 可以同時采集 40mm 寬的譜線數(shù)據(jù). 光陰極材料和微通道板(MCP) 需要真空環(huán)境, 不能在空氣中調(diào)節(jié). 微通道板(MCP) 固定裝置允許用戶在真空中調(diào)節(jié)聚焦, 轉(zhuǎn)動, 角度, 等等, 從而得到最優(yōu)的譜線. 通常我們選用40 mm 寬的微通道板(MCP), 為覆蓋更寬的波長范圍, 可以移動MCP 多次成相. 數(shù)據(jù)讀出采用通過光纖錐連接的CCD 或PDA 陣列. 微通道板(MCP) 裝置可以掃描從最低約 2nm (MCP 的極限) 到最高大約 250nm ( 在MCP 中心), 超過250nm CsI 光陰極不再響應(yīng)
技術(shù)參數(shù)
o= 標(biāo)準(zhǔn)或者可選項(xiàng)，單道多道指的是探測器
- 可工作于掃描或陣列模式(可互換)
- 光柵選擇范圍廣
- 入射角度可變
- 精確的羅蘭圓,精度達(dá)±4 um
- 高精度連續(xù)可調(diào)狹縫
- 狹縫帶隔離伐
- 滑入式濾光片選件
- 結(jié)構(gòu)堅(jiān)固, 設(shè)計(jì)簡潔,可在任意方向安裝使用
該設(shè)備配備單個光柵提供覆蓋1 至 310nm 光譜范圍；采用非真空紫外發(fā)射線設(shè)備的校準(zhǔn)及調(diào)準(zhǔn)可以在大氣壓下完成。符合運(yùn)動學(xué)原理安裝的光柵保證了在調(diào)準(zhǔn)后的用于試驗(yàn)的光柵可以復(fù)位。
光柵室材質(zhì)為不銹鋼，配備了一個標(biāo)準(zhǔn)的4.5 英寸conflat™全金屬密封的泵接口（a standard 4.5” conflat™all metal sealed pump port）。該光柵室提供了符合運(yùn)動學(xué)光柵固定架、真空中可調(diào)焦距式測微計(jì)、濾光片及孔徑片、入射狹縫及出射折迭暗箱固定架。
248/310G 型可以用于單通道掃描, 多通道光度計(jì)( 使用多道平面增強(qiáng)器或CCD), 或者倒過來使用作為Extreme UV and Soft X-ray 的多種單色光源. 不管哪種方式, 都帶o-ring 密封的真空系統(tǒng)或全金屬密封的超高真空系統(tǒng).
當(dāng)248/310G 用作掃描單色器時, 可以得到*佳分辨率和*寬的波長覆蓋范圍. 出口狹縫通過密封焊接的波紋管裝置連接到光柵室, 可以在光柵中心50mm 范圍內(nèi)掃描. 采用88 度入射角, 掃描精度可以達(dá)到0.98nm。
使用 789A-3 型掃描系統(tǒng) (36,000 steps /rev.) 步進(jìn)距離為0.0004". 取決于光柵刻線密度和入射角度, 這一距離同波長直接關(guān)聯(lián). 雙邊可調(diào)入射狹縫 (5-3000 um) 固定在光柵室上. 羅蘭圓上移動的狹縫可由精確的千分尺調(diào)節(jié). 狹縫裝置上帶有安裝真空計(jì), 進(jìn)氣閥, 粗抽閥的接口. 波長小于30nm 時為提高性能, 應(yīng)使用金屬過濾薄片以濾出散射和低能光. 用于*高能量/ *短波長時, 應(yīng)使用VYNS 型濾光片。
左邊照片為McPherson 248/310G 使用無窗背后照明無鍍膜CCD 探測器, 可以直接測量 soft x-ray 和 EUV 光譜. CCD 垂直于出射光束. CCD 中心是最好的焦點(diǎn). CCD 可以在Rowland circle 上掃描使得任意波長時光束都打在探測器的中心.
左圖為采集soft x-ray and extreme UV 譜段的數(shù)據(jù), 可以在Rowland circle 上使用微通道板 (microchannel plate). 通過這種方式, 可以同時采集 40mm 寬的譜線數(shù)據(jù). 光陰極材料和微通道板(MCP) 需要真空環(huán)境, 不能在空氣中調(diào)節(jié). 微通道板(MCP) 固定裝置允許用戶在真空中調(diào)節(jié)聚焦, 轉(zhuǎn)動, 角度, 等等, 從而得到最優(yōu)的譜線. 通常我們選用40 mm 寬的微通道板(MCP), 為覆蓋更寬的波長范圍, 可以移動MCP 多次成相. 數(shù)據(jù)讀出采用通過光纖錐連接的CCD 或PDA 陣列. 微通道板(MCP) 裝置可以掃描從最低約 2nm (MCP 的極限) 到最高大約 250nm ( 在MCP 中心), 超過250nm CsI 光陰極不再響應(yīng)
技術(shù)參數(shù)
o= 標(biāo)準(zhǔn)或者可選項(xiàng)，單道多道指的是探測器
|
型號 |
波段 (nm) |
光譜分辨率 (nm) |
焦長 (mm) |
單道 |
多道 |
成像 |
真空 |
高真空 |
光學(xué)設(shè)計(jì) |
|
248/310G |
<1-310 |
0.018 |
1,000 |
o |
o |
|
o |
o |
掠入射羅蘭圓結(jié)構(gòu) |
|
251 |
10-170 |
0.05 |
292 |
|
o |
o |
o |
o |
VLS 平場超環(huán)面 |
|
251MX |
1-20 |
0.02 |
5,649 |
|
o |
|
o |
o |
VLS 平場光柵 |
|
XCT |
8-120 |
0.1 |
2,000 |
o |
o |
o |
o |
o |
掠入射 C-T 結(jié)構(gòu)，8° AOI |
|
OP-XCT |
8-120 |
0.08 |
800 |
o |
o |
o |
o |
o |
掠入射 C-T 結(jié)構(gòu)，5° AOI |
13810233784
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